石英坩堝的分類

石英坩堝分為方形、圓形兩大類:圓形的石英坩堝是用在單晶爐里拉制單晶硅的;方形的石英坩堝是用在多晶硅鑄錠中的。 
(1)圓形的石英坩堝。圓形的石英坩堝又分透明和不透明兩種。透明的石英坩堝是用石英玻璃管在氫氧火焰的高溫中擴(kuò)徑、封端后,再吹制而成的。透明的石英坩堝具有石英玻璃的所有特性,它是高純的二氧化硅體,對(duì)高純硅的純度影響極低;它具有極低的膨脹系數(shù)、非常低的熱導(dǎo)率、相當(dāng)良好的電絕緣性,特別是耐溫性能極好,可在1450°C 以下使用,所以可用在單晶爐里盛裝熔化的多晶硅液體。但透明石英坩堝的制作工藝復(fù) 雜,成本太高,而且容易導(dǎo)致不均勻的熱傳輸,不利于電子工業(yè)的發(fā)展。另外,現(xiàn)在的制造方法還不能制造出大口徑的透明石英坩堝。不透明的石英坩堝是用電弧法制成的,工藝簡(jiǎn)單,成本低,而且可以生產(chǎn)出大口徑的坩堝,完全可以滿足單晶硅生產(chǎn)的需要。
(2)方形的石英坩堝。方形的石英坩堝一般不是純的石英玻璃制成的,是用石英陶瓷制成的,其全稱應(yīng)該是“方形石英玻璃陶瓷坩堝”